Zygo激光干涉仪：精密光学表面测量的高端利器

Zygo激光干涉仪利用He-Ne激光源，实现波长级干涉测量，分辨率达0.1nm。适用于镜面平整度评估，数据输出兼容CAD软件。

其非接触式设计减少样品损伤，支持自动化扫描模式。在半导体制造中，确保晶圆表面均匀性，符合ISO计量标准。