光刻机在机床机械行业中的技术创新点有哪些？

多光束曝光技术是创新点，提高吞吐量并降低成本。

AI辅助控制系统优化参数调整，实现自动化。

新型材料应用增强设备耐用性。

集成传感器实时监测，提高可靠性。

与机床机械的融合，推动智能制造。

未来创新聚焦于绿色环保设计。