ICP-OES（电感耦合等离子体发射光谱）是检测钇纯度的首选工具，可同时分析多元素杂质，检测限达ppb级。适用于高通量样品处理。
XRF（X射线荧光）光谱仪提供无损快速筛查，适合现场验证钇氧化物批次。便携式型号如Thermo Fisher Niton增强了移动性。
AAS（原子吸收光谱）针对特定杂质如Fe和Pb精确，成本较低但需样品消解。
SEM-EDS结合电子显微镜和能谱仪，揭示钇颗粒微观结构和元素分布。
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软件集成如Origin用于数据处理，提升报告准确性。企业选型时考虑预算和精度需求。
定期校准和标准物质如NIST。