铥纯度检测首选ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪），可精确测定ppm级杂质。Thermo Fisher的iCAP系列仪器适用于化工实验室，检测限达0.01ppm。
XRF（X射线荧光光谱仪）适合现场快速筛查，Bruker的S2 PUMA型号便携性强，无需样品前处理。适用于能源行业供应链验证。
标准方法遵循ASTM E1479，涉及样品溶解和原子吸收光谱分析。B2B供应商常配备这些工具，提供COA证书。
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数据处理软件如Origin可生成谱图报告，便于比较。维护工具包括定期校准，确保准确率99%以上。
新兴工具如LIBS。