微小型气体流量计采用MEMS技术,实现微米级流量检测,响应时间<1ms,适用于半导体制造和医疗气体分配,确保过程控制精度达±0.5%。
其紧凑设计节省空间,集成IoT接口,支持远程监控,助力企业实现数字化转型,显著降低维护成本并提升商业竞争力。
微小型气体流量计采用MEMS技术,实现微米级流量检测,响应时间<1ms,适用于半导体制造和医疗气体分配,确保过程控制精度达±0.5%。
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