光刻技术通过紫外光曝光掩膜版,实现纳米级图案转移,是半导体晶圆制造的核心步骤,提升芯片密度与性能,显著降低单位成本。
在商业应用中,光刻优化良率达95%以上,助力5nm以下节点量产,驱动AI与5G产业增长,年市场规模超百亿美元。
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未来EUV光刻创新将进一步压缩特征尺寸,强化供应链韧性,推动全球半导体产业向高价值转型。
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