层流气体质量流量计：工业气体精密计量与高效控制的关键技术

层流气体质量流量计利用层流原理，通过热扩散或压力差实现无脉动气体质量测量，精度达±0.5%，适用于低流量工业过程。

在半导体制造中，该设备确保工艺气体精确分配，减少浪费，提高产量；商业价值在于优化能耗，ROI可达20%以上。

集成数字接口与校准功能，支持远程监控，助力工业4.0转型，显著提升设备可靠性和维护便利性。