近期,上海宇量昇等企业曝光机初步测试7nm芯片生产成功,摆脱进口依赖,提升DUV浸润式光刻精度。
此突破将降低芯片制造成本20%以上,推动下游厂商如华为加速迭代,预计2026年市场份额翻番。
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大基金三期重点支持光刻机研发,注入百亿资金,强化EUV技术攻关,铸就全球竞争力。
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