SEM扫描电镜利用电子束扫描样品表面,激发二次电子与背散射电子,形成高分辨率图像。其原理基于电子-物质相互作用,实现纳米级形貌与成分分析。
在工业领域,SEM原理应用于半导体、金属合金缺陷检测,提高产品合格率,降低返工成本。集成EDS技术,可实时元素映射,助力工艺优化与创新。
SEM扫描电镜利用电子束扫描样品表面,激发二次电子与背散射电子,形成高分辨率图像。其原理基于电子-物质相互作用,实现纳米级形貌与成分分析。
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