氯化铪合成与应用：化学工业中高纯度材料制备指南
化学工业
2025-12-11
查询: 氯化铪
关键词：
氯化铪
摘要：阐述氯化铪的工业制备方法及其在半导体领域的关键作用。
氯化铪（HfCl4）通过铪金属与氯气高温反应合成，纯度达99.99%，用于CVD前驱体。
在电子工业中，作为高k介电层材料，提升芯片性能，减少漏电流达50%。
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发布时间：2025-12-11
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