高纯度纯金靶材在磁控溅射涂层中的特性与应用分析
材料科学
2025-12-13
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关键词:
纯金靶材
摘要:介绍99.99%纯金Au靶材的制备工艺及其在半导体薄膜沉积中的关键作用和高性能优势。
纯金靶材采用高纯Au材料,纯度达99.99%,适用于磁控溅射真空镀膜,形成均匀金膜层。
其优异导电性和抗腐蚀性能,确保半导体芯片欧姆接触和连线膜系统的稳定可靠性。
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选用时注意靶材形状与溅射设备匹配,提升沉积效率并降低杂质污染。
发布时间:2025-12-13
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