超纯水处理系统采用多级过滤工艺,包括微滤、超滤、RO反渗透及EDI电除盐,确保水中杂质离子、颗粒及有机物去除率达99.99%以上,满足半导体晶圆清洗需求。
系统集成在线监测模块,如TOC总有机碳分析仪和电阻率计,实现实时水质控制,降低能耗并延长膜组件寿命,支持智能自动化运行。
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在实际部署中,优化预处理单元可减少结垢风险,提高系统回收率至80%,为高科技制造提供可靠水源保障。
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