超高纯氩气生产工艺及工业应用分析

超高纯氩气主要通过空气分离深冷精馏获得，粗氩经催化脱氧、吸附除水和多次精馏，纯度可达99.9999%以上。

关键步骤包括氢气催化除氧和分子筛深度净化，确保氧、氮、水分等杂质含量低于ppb级。

超高纯氩气广泛用于半导体晶圆制造、钛合金惰性保护焊接及光谱分析，提供稳定无反应氛围。