真空镀膜机操作与维护技术教程：从原理到应用实践指南

真空镀膜机利用真空环境通过蒸发或溅射方式沉积薄膜材料于基材表面，实现光学或电子功能涂层。核心组件包括真空泵、蒸发源和控制系统，确保镀膜均匀性。

操作步骤：先抽真空至10^-4 Pa，加热蒸发源至材料汽化温度，控制沉积速率1-10 nm/s。监控薄膜厚度以避免缺陷，提高产品耐腐蚀性。

维护要点：定期清洁真空腔体，检查密封圈磨损，更换滤网。故障诊断聚焦于真空度异常或源材料污染，确保设备稳定运行。