电子行业超纯水制备技术与应用：确保半导体制造纯净度的关键策略

超纯水在电子行业用于清洗半导体晶圆，去除微粒和离子污染物。制备采用反渗透、离子交换和紫外线消毒等多级净化系统。

水质标准要求电阻率达18MΩ·cm以上。监测TOC和颗粒物水平，确保生产过程无污染，提高产品良率。

应用中，循环利用超纯水可降低成本。定期维护设备，防止细菌滋生，符合环保法规。