超高纯水制水设备在半导体制造中的关键应用与技术优化策略

超高纯水制水设备采用反渗透、离子交换和紫外消毒等多级净化工艺，确保水质纯度达18MΩ·cm以上，适用于半导体和制药行业。

设备的关键组件包括预处理系统和EDI模块，能有效去除微量杂质，提高系统稳定性和水回收率，降低运营成本。

在实际应用中，定期维护和监测pH值、TOC指标至关重要，确保设备长期高效运行，符合环保标准。