CAS 13499-05-3氯化铪在半导体材料合成中的关键作用与安全使用
化工材料
2026-01-10
查询: 13499-05-3
关键词：
13499-05-3
摘要：探讨氯化铪的化学性质及其在高科技产业中的应用前景。
氯化铪（HfCl4）是一种白色晶体粉末，CAS号13499-05-3，用于CVD沉积制备高k介电材料。熔点432°C，易吸湿。
在半导体行业中，它作为前驱体提升芯片性能。使用时需佩戴防护装备，避免接触水以防释放HCl气体。
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发布时间：2026-01-10
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