石英晶体微天平（QCM）在工业薄膜监测中的应用

QCM利用石英晶体压电效应，当表面沉积物质时振荡频率降低，频率变化与质量呈线性关系，可达ng/cm²级分辨率。

在PVD、CVD薄膜沉积工艺中，QCM实时监控膜厚与沉积速率，显著提高工艺重复性与产品一致性。

选择适合的晶体切型、电极材料及配套振荡电路，是确保工业现场长期稳定测量的关键。