真空测量仪的原理类型及在半导体工业中的精确应用指南

真空测量仪基于热导或电离原理，分热阴极和冷阴极类型，测量范围从大气压至高真空10^-10 Pa。

在半导体制造中，它实时监控镀膜和蚀刻过程，防止污染物干扰，提高产品良率。