高精度电动位移台采用步进电机或伺服驱动系统,实现纳米级分辨率。通过线性导轨和反馈传感器,确保运动稳定性,适用于光学对准和微加工领域。
在半导体制造中,该设备支持晶圆定位,减少误差,提高产量。结合PID控制算法,可实时调整位移路径,满足复杂工艺需求。
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其优势包括高重复精度、低噪音和易集成性。未来发展将融入AI优化,进一步提升响应速度和精度。
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