洁净室制造伊始,即需在临时无尘环境中组装组件。使用防尘工作服和粘尘滚筒清除表面颗粒。
焊接和切割过程采用局部抽风罩,捕获烟尘和飞溅物。材料预处理包括超声波清洗,确保无残留污染物。
组装阶段实施分层验证,每层完成后进行颗粒计数测试,使用激光粒子计数器监测空气质量。
管道和壁板连接处使用专用胶封,防止缝隙泄漏。制造记录需详细记录每个步骤的环境参数。
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最终测试包括烟雾可视化和压力差测量,确认无死角污染。通过这些措施,可将颗粒水平控制在ISO 5级以下。
制造团队培训是长期保障,定期演练应急响应以应对突发污染事件。