真空泵是用于抽取气体以产生真空环境的机械设备,主要类型包括机械泵、分子泵和扩散泵等。机械泵通过机械运动实现气体压缩和排出,适用于中低真空环境,常用于实验室和工业生产。
分子泵利用高速旋转的叶片将气体分子定向推动,实现高真空抽取。这种泵通常与前级泵配合使用,适用于半导体制造和真空镀膜等领域。
扩散泵通过加热油或汞蒸气产生的高速蒸汽流捕获气体分子,实现真空抽取。它适用于需要极高真空度的场合,如粒子加速器和空间模拟设备。
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此外,还有罗茨泵和螺杆泵等变型,这些泵在结构上优化了机械泵的设计,提高了抽气效率和耐用性。
选择真空泵类型时,需要考。