电感耦合等离子体-发射光谱仪是一种精密的原子发射光谱分析仪器，广泛应用于电子电工领域。它利用高频电磁场激发等离子体，将样品原子化并激发产生特征光谱，从而实现多元素同时定量分析。在电子元件纯度检测中，ICP-OES能检测出ppm级别的杂质元素，如铅、镉和汞，这些杂质可能影响元件的电性能和可靠性。
在实际检测流程中，首先将电子元件样品溶解于酸性溶液中，然后通过雾化器引入等离子体炽热区。等离子体温度高达6000-10000K，能有效分解样品并激发原子发射光谱。光谱被分光计分离后，由检测器记录。
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