光刻机常用工具和配件有哪些？

掩膜是光刻机核心配件，用于图案转移，需定期更换。

对准系统工具确保硅片定位精度，提高加工准确性。

清洁套件包括无尘布和溶剂，用于维护设备洁净度。

激光校准工具用于光源调整，保持曝光一致性。

备用零部件如滤镜和泵浦，也需备齐以防故障。

选择配件时，优先兼容原厂标准。