工业超纯水制备指南：多级纯化工艺与高效应用

超纯水制备首选预处理去除悬浮物和有机物，随后采用反渗透（RO）系统过滤离子与颗粒，实现初步纯化。

核心环节为电去离子（EDI）或混合床离子交换，进一步降低TOC和电阻率至18.2 MΩ·cm，确保工业级纯度。

该工艺提升半导体洗涤效率，降低缺陷率，商业价值显著，年节省成本可达20%以上。