高纯甲烷气指纯度超过99.999%的甲烷气体,主要用于半导体外延生长和化学气相沉积(CVD)工艺,确保薄膜均匀性和器件可靠性。
在光伏和燃料电池领域,高纯甲烷气作为氢源和碳源,提升能量转换效率,助力绿色能源转型,市场规模年增长超15%。
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供应商通过优化提纯技术降低杂质至ppb级,实现供应链稳定,商业价值体现在高附加值产品定价和全球需求扩张。
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