薄膜热电偶采用溅射或蒸镀技术制成薄膜层,厚度通常在微米级,确保高灵敏度和低热容量。
在半导体制造和航空领域,该传感器提供实时温度反馈,响应时间可达毫秒级,提高过程控制精度。
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相比传统热电偶,薄膜型更易集成于微型设备,耐腐蚀性强,适用于恶劣工业环境。
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