靶材材料组成及其在薄膜沉积技术中的关键用途解析
材料科学
2026-01-10
查询: 靶材是什么材料,有什么用途
关键词：
靶材是什么材料,有什么用途
摘要：靶材作为溅射源材料，用于半导体和显示领域薄膜制备，推动高科技产业发展。
靶材主要由高纯金属如铜、铝或陶瓷化合物制成，通过离子轰击释放原子形成薄膜。
在半导体制造中，用于导电层和绝缘层沉积，提升芯片性能；在光伏和显示面板中，实现功能膜系。
相关行业报告
发布时间：2026-01-10
参与行业讨论
与行业专家和同行交流，分享您的见解和经验