FastMicro系统可在每秒检测数千个颗粒的同时，提供颗粒尺寸、数量及化学组分信息，检测极限达0.1μm。
该技术广泛应用于晶圆制造过程、纯水系统及无菌灌装生产线，帮助企业快速定位污染源。
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相较传统离线采样分析，FastMicro显著缩短污染响应时间，已成为先进制程洁净度管理核心工具。
FastMicro高速微粒检测系统在洁净制造中的应用
洁净技术
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摘要：FastMicro采用激光诱导击穿光谱与高速成像技术，实现亚微米级颗粒实时在线检测，满足半导体与制药高洁净要求。
发布时间：2026-01-10
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