螺杆真空泵技术特点与新能源行业核心应用解析

干式螺杆真空泵采用双螺杆同步反向旋转实现气体压缩，无油润滑设计彻底杜绝油蒸气污染，极限真空可达0.1Pa以下。

相比传统旋片泵与罗茨泵组合，螺杆泵在抽气量大、粉尘多、腐蚀性气体工况下表现出更长的连续运行寿命与更低的维护成本。

锂电池电芯干燥、光伏硅片镀膜、半导体晶圆工艺已成为螺杆真空泵最大应用市场，单机功率覆盖5.5kW至250kW全系列。