光学轮廓测试仪在精密表面测量中的原理与应用优势分析

光学轮廓测试仪基于白光干涉原理，提供纳米级表面粗糙度测量，适用于半导体与光学元件检测。

设备优势在于非接触式操作，避免样品损伤，并支持3D成像分析，提高测量效率。

实际应用中，结合软件算法优化数据处理，确保精度达0.1nm。