纳米机械在精密制造中的应用：从设计到工业化生产的创新路径

纳米机械利用分子级组装技术，如自组装纳米机器人，实现亚微米级精密操作。在半导体工业中，提高芯片制造效率。

材料方面，采用碳纳米管或硅基复合物，确保机械强度和稳定性。工业化生产需整合MEMS技术，优化成本控制。