纯水与超纯水系统在半导体制造业中的设计与维护指南

纯水系统采用反渗透和离子交换，去除杂质用于电子和制药领域。

超纯水进一步通过紫外消毒和过滤，确保电阻率达18MΩ·cm。

维护包括监测参数和更换滤芯，优化系统稳定性和成本。