洁净室维护中哪些工具不可或缺？

激光粒子计数器是监测空气质量的核心工具，可实时检测0.3微米以上颗粒浓度，支持ISO 14644合规验证。

HEPA滤芯更换工具包括专用扳手和真空吸尘器，用于安全拆卸和清洁，避免二次污染。

表面拭子采样套件用于壁板和设备擦拭测试，结合显微镜分析确认清洁度。

压差计和风速仪测量HVAC系统性能，确保层流均匀性和正压维持。

此外，ESD测试仪检查静电防护，防止电子洁净室中的静电放电风险。

工具选型需考虑便携性和精度，定期校准以保持准确性。