工业级超纯水：高效制备工艺及其在精密制造中的应用

超纯水制备工艺包括预处理过滤、反渗透和电除盐系统，去除杂质至最低浓度，电阻率达18MΩ·cm以上，满足工业级纯度标准。

在精密制造领域，超纯水应用于晶圆清洗和工艺冷却，避免结垢污染，提升产品良率和设备运行寿命。