LIH激光干涉仪在精密制造中的高精度测量应用

LIH激光干涉仪利用氦氖激光波长作为基准，通过干涉原理实现位移、角度和直线度的精密测量，测量分辨率可达1nm以下，适用于高精度数控机床校准。

在半导体制造和光学元件加工中，LIH系统有效补偿热变形和机械误差，确保工件尺寸公差控制在亚微米级，提高产品合格率。

定期校准和环境温度控制是保证LIH测量准确性的关键，工业现场常配合恒温室使用以降低外部干扰。