高纯液态二氧化碳生产工艺与食品医药级应用

高纯液态二氧化碳主要通过变压吸附、精馏及催化转化等工艺，从工业尾气或天然气中提纯制得。

食品级与医药级高纯CO₂严格控制水分、硫化物、重金属等杂质，被广泛用于碳酸饮料、萃取、冷冻干燥及超临界萃取。

电子级超高纯液态CO₂则应用于半导体晶圆清洗与光刻工艺，要求氧含量、烃类杂质控制在ppb级别。