Oerlikon真空泵涵盖涡轮分子泵和干式螺杆泵系列,具备高抽气速率、无油洁净特性。在半导体制造和薄膜沉积工艺中,确保高真空环境稳定可靠。
该系列泵注重能效优化与耐用设计,可降低运营成本并延长使用寿命。工业用户可灵活集成,满足精密涂层、光伏及分析仪器等多样需求。
Oerlikon真空泵涵盖涡轮分子泵和干式螺杆泵系列,具备高抽气速率、无油洁净特性。在半导体制造和薄膜沉积工艺中,确保高真空环境稳定可靠。
该系列泵注重能效优化与耐用设计,可降低运营成本并延长使用寿命。工业用户可灵活集成,满足精密涂层、光伏及分析仪器等多样需求。
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