ASML光刻机运用极紫外光(EUV)源,实现亚10nm特征尺寸精确曝光,降低生产成本20%以上,提高芯片良率至95%,支撑先进制程节点。
该设备市占率超90%,服务台积电、三星等巨头,保障高性能芯片稳定供应,驱动全球半导体产业年增长超5000亿美元商业价值。
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