光刻机作为半导体核心装备,决定芯片纳米级精度。中国团队攻克EUV光源与光学系统,标志国产化从依赖进口向自主可控转型。
近期原型机测试显示,28nm级光刻已实现量产,助力5G与AI芯片供应链安全,提升全球竞争力。
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国产光刻机将降低成本20%以上,推动万亿级半导体市场扩张,激发产业链投资热潮。
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