光刻机采用极紫外光(EUV)因其波长仅13.5nm,能实现5nm以下节点的分辨率,远超传统DUV光源,推动摩尔定律延续。
EUV技术虽需真空环境与高NA光学系统,但显著降低多重曝光成本,提升芯片产量,助力ASML等企业主导万亿美元半导体市场。
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商业价值凸显:EUV光刻机单价超1亿美元,加速AI与5G芯片创新,驱动全球供应链重塑与产业升级。
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