气体质量流量控制器(MFC)利用热式传感器实时监测气体质量流量,确保±0.5%精度控制。适用于CVD、真空镀膜等精密工艺,提高生产一致性。
MFC集成PID算法和数字通信接口,支持多气体兼容。助力智能工厂转型,减少气体浪费20%以上,显著提升工业运营效率与经济效益。
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