高纯氮气在半导体制造中的关键作用与纯度保障技术

高纯氮气纯度达99.999%以上，常用于半导体清洗和惰性保护，避免氧化污染。工业生产中，通过变压吸附或膜分离技术实现高效提纯。

在电子行业，高纯氮气可降低缺陷率，提高芯片良品率。定期监测杂质如O2和H2O含量是质量控制的核心。