扫描电子显微镜(SEM)通过电子束扫描样品表面,产生二次电子信号,形成高分辨率图像。该技术分辨率可达纳米级,适用于金属、陶瓷等材料的微观结构分析。
在制造业中,SEM用于故障分析和工艺优化,例如检测焊接缺陷或涂层均匀性,提高产品可靠性并降低生产成本。
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相较光学显微镜,SEM提供深度景深和元素组成信息,通过能量色散X射线谱仪(EDS)实现定量分析,支持工业研发创新。
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