X射线光电子能谱（XPS）在表面材料分析中的原理与实践
材料科学
2026-01-10
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x射线光电子能谱 xps
摘要：阐述XPS技术的基本原理及其在材料科学中的关键应用。
XPS利用X射线激发样品表面电子，测量结合能以确定元素组成和化学状态。适用于薄膜和涂层分析。
在半导体工业中，XPS帮助评估氧化层厚度，提高产品质量。操作需真空环境以避免干扰。
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发布时间：2026-01-10
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