激光刻蚀机利用高能量密度激光束对材料进行选择性汽化或剥离,可达亚微米级加工精度,特别适用于脆硬材料。
其无刀具磨损、无切削力、热影响区小的特性,使其在芯片封装、微流控器件和航空精密零件制造中获得广泛应用。
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随着飞秒激光技术的成熟,当前激光刻蚀正向更高精度、更小热影响、更复杂三维结构方向快速发展。
激光刻蚀机利用高能量密度激光束对材料进行选择性汽化或剥离,可达亚微米级加工精度,特别适用于脆硬材料。
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