原位椭偏仪是一种光学测量仪器，主要用于在材料生长或加工过程中实时监测薄膜的厚度和光学常数。它的工作原理源于光的偏振现象，当偏振光入射到样品表面时，会因折射率差异产生椭圆偏振。
仪器通常包括光源、偏振器、补偿器、分析器和探测器。光源发出单色光，经过偏振器形成线性偏振光，入射到样品上反射后，偏振状态改变。
反射光通过补偿器和分析器处理后，由探测器捕捉强度变化。通过傅里叶变换或模型拟合算法，计算出薄膜的厚度、折射率和消光系数。
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在电子电工行业，原位椭偏仪常集成于真空沉积设备中，实现非接触、无损测量，有助于工艺参数的精确控制。
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