四甲基硅烷(TMS)纯度测试依赖精密仪器,如气相色谱仪(GC),用于分离和定量杂质。配备FID检测器,GC可检测ppm级氯硅烷,测试时间约15分钟。供应商推荐Agilent 7890系列,确保分辨率高。
核磁共振光谱仪(NMR)是TMS标准验证的核心工具。1H-NMR分析硅甲基峰移位(0.0 ppm),确认结构完整性。Bruker Avance系列支持自动化样品注入,适用于批量测试。
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红外光谱仪(FTIR)快速筛查官能团,识别硅-碳键吸收峰(1250 cm⁻¹)。便携式FTIR如Thermo Nicolet。