中国光刻机技术聚焦DUV和EUV领域,上海微电子等企业已实现28nm级曝光精度,显著缩短研发周期,提升制造效率。
通过国家战略投资和技术攻关,国产光刻机成本降至国际水平的70%,为芯片企业提供可靠供应链保障。
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这一进展驱动半导体产业商业价值爆发,预计2025年市场规模超500亿元,促进出口竞争力。
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