微纳制造技术：纳米级精密加工驱动工业创新与商业价值提升

微纳制造采用光刻、电子束刻蚀等技术，实现亚微米级结构成型，显著提高器件集成度，适用于半导体芯片生产。

在商业应用中，微纳制造降低制造成本20%以上，加速MEMS传感器市场渗透，预计全球规模超千亿美元。